无尘室概述
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室较主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非**没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求**A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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货物进出无尘室的要求
1、所有进入无尘室的各种大件物料、原辅料、工器具、包装材料等均需在货物通道外面清扫、清洁其外表,再进入货物缓冲间;
2、进入货物缓冲间前需先检查缓冲间内侧门是否关闭,否则应先关闭后再将货物推入货物缓冲间;同样,完工品移出无尘室前,应先关闭缓冲间外侧门;
3、完工产品退出无尘室前,应经检查合格后并严密包装,再通过货物缓冲间退出;
4、无尘室内外的单件物品可在清扫、清洁其外表面或严密包装后直接通过传递窗进出;试验、检测用的样品可直接通过传递窗进出;
5、人员不得通过货物通道进出无尘室。
6、生产过程如有废弃物(废瓶子、废盖子),应从货物通道出。
无菌无尘室:室内悬浮粒子浓度受控的房间;房间的建设和使用方式都尽可能使室内进入、产生和滞留粒子减到一定的程度
净化工程是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。